Triklorosilana

Triklorosilana
Nama
	Nama IUPAC Triklorosilana
	Nama lain silil triklorida, silikokloroform
Penanda
Nomor CAS	10025-78-2 ;
Model 3D (JSmol)	Gambar interaktif;
3DMet	{{{3DMet}}}
ChemSpider	23196 ;
Nomor EC
PubChem CID	24811;
Nomor RTECS	{{{value}}}
UNII	QZY2645L6V ;
Nomor UN	1295
CompTox Dashboard (EPA)	DTXSID4029301 ;
	InChI InChI=1S/Cl3HSi/c1-4(2)3/h4H Key: ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N ; InChI=1/Cl3HSi/c1-4(2)3/h4H Key: ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYAH;
	SMILES Cl[SiH](Cl)Cl;
Sifat
Rumus kimia	HCl3Si
Massa molar	135,45 g/mol
Penampilan	colourless liquid
Densitas	1.342 g/cm3
Titik lebur	−1.266 °C (−2.247 °F; −993 K)
Titik didih	318 °C (604 °F; 591 K)
Kelarutan dalam air	hidrolisis
Bahaya
Lembar data keselamatan	ICSC 0591
Klasifikasi UE (DSD) (usang)	Sangat mudah terbakar (F+); Berbahaya (Xn); Korosif (C)
Frasa-R	R12, R14, R17, R20/22, Templat:R29, R35
Frasa-S	S2, S7/9, S16, S26, S36/37/39, S43, S45
Titik nyala	−27 °C (−17 °F; 246 K)
Suhu; swasulut	185 °C (365 °F; 458 K)
Ambang ledakan	1.2–90.5%
Senyawa terkait
Related klorosilana	Klorosilana; Diklorosilana; Diklorometilsilana; Klorodimetilsilana; Silikon tetraklorida
Senyawa terkait	Trifluorosilana; Tribromosilana; Kloroform
	Kecuali dinyatakan lain, data di atas berlaku pada suhu dan tekanan standar (25 °C [77 °F], 100 kPa).
	verifikasi (apa ini ?)
	Referensi

Versi yang bisa dicetak tidak lagi didukung dan mungkin memiliki kesalahan tampilan. Tolong perbarui markah penjelajah Anda dan gunakan fungsi cetak penjelajah yang baku.

Triklorosilana adalah senyawa anorganik dengan rumus HSiCl₃. Senyawa ini merupakan cairan yang tidak berwarna dan tidak stabil. Triklorosilana yang telah dimurnikan merupakan pendahulu silikon yang sangat murni dalam industri semikonduktor. Jika dicampur dengan air, triklorosilana akan langsung berdekomposisi menjadi polimer silikon dan asam klorida. Triklorosilana sangat reaktif, sehingga sering digunakan dalam proses sintesis senyawa organik yang mengandung silikon.^[1]

Produksi

Triklorosilana diproduksi dari reaksi silikon dengan asam klorida pada suhu 300 °C. Hidrogen juga dihasilkan dalam prosesnya.

Si + 3 HCl → HCl₃Si + H₂

Produk sampingan utama dalam reaksi ini adalah silikon tetraklorida (rumus kimia SiCl₄), heksaklorodisilana (Si₂Cl₆), dan diklorosilana (H₂SiCl₂). Triklorosilana dapat dipisahkan lewat proses distilasi.

Triklorosilana juga dapat dihasilkan dari silikon tetraklorida:^[2]

Si + 3 SiCl₄ + 2 H₂ → 4 HSiCl₃

Kegunaan

Triklorosilana adalah bahan dasar yang digunakan dalam proses produksi polisilikon yang telah dimurnikan.

HSiCl₃ → Si + HCl + Cl₂

Bahan hidrosililasi

Lewat proses hidrosililasi, triklorosilana merupakan pendahulu senyawa organosilikon lainnya yang berguna:

RCH=CH₂ + HSiCl₃ → RCH₂CH₂SiCl₃

Referensi

^ Lianhong Xu, Ravi Kurukulasuriya, "Trichlorosilane" Encyclopedia of Reagents for Organic Synthesis, 2006. doi:10.1002/047084289X.rt213.pub2
^ Simmler, W. (2005), "Silicon Compounds, Inorganic", Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, Weinheim: Wiley-VCH, doi:10.1002/14356007.a24_001

Semiconductors: Silicon: Substrate Manufacture: Polycrystalline silicon Production

Artikel bertopik kimia ini adalah sebuah rintisan. Anda dapat membantu Wikipedia dengan mengembangkannya.

[1] Lianhong Xu, Ravi Kurukulasuriya, "Trichlorosilane" Encyclopedia of Reagents for Organic Synthesis, 2006. doi:10.1002/047084289X.rt213.pub2

[Ullmann-2] Simmler, W. (2005), "Silicon Compounds, Inorganic", Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, Weinheim: Wiley-VCH, doi:10.1002/14356007.a24_001

[1]

[2]